Skid acqua DI termoregolata

UPW / 03

Unità complete di termoregolazione ±0,1 °C per process tool e camere di prova.

Skid completi di pompaggio, scambio termico e controllo per la termoregolazione di precisione: litografia, metrologia, banchi di test che richiedono stabilità termica assoluta.

Collaudo funzionale completo prima della spedizione, con report di stabilità termica registrato.

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