La produzione di chip richiede sottosistemi fluidodinamici costruiti con standard estremi: saldature documentate, finiture elettrolucidate, collaudi di tenuta all’elio. Realizziamo box gas, skid chemicals e manifold di servizio che gli OEM integrano nelle loro macchine, con assemblaggio e collaudo finale nelle nostre camere bianche ISO 7.
- 01Box di distribuzione gas di processo e purge
- 02Skid chemicals per linee wet etch e cleaning
- 03Manifold di servizio per stazioni CMP
- 04Termoregolazione di precisione per process tool