Manifold di servizio per processi CMP: distribuzione slurry con geometrie anti-sedimentazione, linee di flussaggio e raccolta drain separata per il recupero.
Progettati sulla configurazione specifica della stazione di lucidatura del cliente.
Gestione slurry, acqua DI e drenaggi per stazioni di lucidatura wafer.
Manifold di servizio per processi CMP: distribuzione slurry con geometrie anti-sedimentazione, linee di flussaggio e raccolta drain separata per il recupero.
Progettati sulla configurazione specifica della stazione di lucidatura del cliente.